近日,我校智能制造与机器人学院李志松副教授成功入选上海教育系统2026年度“申教名匠”培育对象名单,这是学校持续弘扬劳模精神、劳动精神、工匠精神,深耕产教融合、培育应用型工匠教师的成果。

“申教名匠”是上海教育系统工匠人才培育重点项目,围绕引领力、成就力、创新力、专注力、传承力五大维度,遴选扎根教学一线、深耕产教融合的优秀教师。李志松老师凭借在半导体精密测量与机器视觉领域八年的深耕积淀,打造“立德树人·五力协同”应用型人才培养模式,经层层评审脱颖而出。

课堂融产业,把企业一线案例和自研设备搬进教室
在《机器视觉》《机器学习》《机器视觉与数字图像处理》三门核心专业课的课堂上,李志松从不照本宣科。他将晶圆缺陷识别、薄膜厚度检测、光学干涉测量等17项来自企业的真实工程案例转化为教学内容,这些案例全部对应着他团队自主研发的技术成果。
他牵头建设的半导体精密测量协同创新研究中心内,配备了16台(套)高精度检测设备,其中包括他主持研发的晶圆级双菲索300mm口径平坦度测量系统、双旋转补偿器椭圆偏振仪等自研设备样机,这些原本用于企业项目攻关的科研设备,现已成为学生日常实验实训的“活教材”。
他还将企业真实任务转化为课堂项目,开发一体化课程资源17套,学生可在课堂上直接操作自研检测软件,走完需求分析、方案设计、实验验证、系统集成和项目交付的完整工程链条,12名学生的项目成果被企业采纳。
他牵头推进《机器视觉》产教课程改革,搭建完整企业项目案例库;将精益求精、创新报国等思政元素融入12个教学单元,编写课程思政案例15个,实现专业传授与价值引领的同频共振。

科研破难关,硬核成果第一时间反哺教学
多年来,李志松聚焦半导体精密检测“卡脖子”难题,累计主持29项产学研横向课题,多项成果直接服务集成电路企业。在精密测量核心领域,他自主研发4套完整算法方法体系,薄膜检测精度可达 0.1 纳米,设备检测速度、抗干扰能力大幅超越国际商用产品。他推动技术从算法走向实体样机,自主研发的透射式薄膜厚度测量仪、双旋转补偿器椭圆偏振仪等4类设备样机中,2套已完成实验室验证并交付企业试用,同时留校作为教学设备,支撑学生毕业设计和科研训练。
近8年,他围绕半导体精密测量与光学检测产出论文29篇、专利21项,相关成果荣获中国发明协会创新奖二等奖、中国产学研合作创新成果奖等5项省部级奖励,这些获奖技术均被拆解为教学案例,让学生近距离接触产业前沿。近3年,学生作为第一作者发表论文15篇,9名学生参与专利撰写并成为发明人,实现了科研成果向教学资源的无缝转化。

育人传薪火,梯队培养持续输送人才
李志松建立了“项目牵引、以老带新、分层培养”的学生培育机制,组建4支科研创新小组,常态化开展科研培训与经验分享,帮助新生快速进入课题研究。近三年组织组内培训36场,高年级学生指导低年级学生累计1200小时,新生平均两个月即可进入科研状态。
学生在项目训练中不仅提升了专业技能,也逐渐形成守时履约、团队协作、质量优先和面向产业需求解决问题的职业素养。累计21名学生在项目中担任子任务负责人,企业对学生实习表现评价优良率达95%,充分体现了科研反哺教学的育人成效。
在他悉心指导下,学生孙佳兴连续两年获研究生一等奖学金,摘得国家奖学金和第三届校长奖学金,被评为上海市优秀毕业生并考入中国科学院攻读博士。多名学生考取双一流高校博士,多名毕业生入职国内头部半导体设备企业。
(供稿:工会)

